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平板显示性车间空气过滤解决方案

LED和薄膜晶体管彩色液晶显示器(TFT-LCD)的生产工艺较复杂,平板显示生产车间空气洁净工程解决方案技术难度和成本均较高,对生产环境要求也较高,其工艺过程薄膜晶体管有矩阵工

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平板显示性车间空气过滤解决方案

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平板显示性车间治理背景:

LED和薄膜晶体管彩色液晶显示器(TFT-LCD) 的生产工艺较复杂, 平板显示生产车间空气洁净工程解决方案技术难度和成本均较高,对生产环境要求也较高,其工艺过程薄膜晶体管有矩阵工艺与大规模集成电路生产工艺相似,生产工艺对环境的空气洁净度等级、温湿度、防微振和高纯物质的供应等均有较严格的要求:生产环境要有一万级到十万级的净化车间,并且对温度和湿度都有明确控制;各洁净室空气洁净度等级:控制粒子粒径为0.3 Hmo。

平板显示器具有完全平面化、轻、薄、省电等特点,符合未来图像显示器发展的必然趋势。LCD器件是众多平板显示器件中发展最快、技术最成熟、应用面最广、已经产业化并仍在迅猛发展的一种显示器件,随着半导体技术的不断发展,人们已成功地将半导体技术与LCD技术结合在一起,从而产生了LCD的一个新兴产业TFT-LCD。由于ICD具有超薄、省电、显示画质好(即三高:高亮度、高对比度、高分辨率)的优点:大小皆宜的尺寸,从而使液晶显示器得到了广泛的应用。不论是以数量计还是以使用种类计,液晶显示技术都远远地领先于包括CRT在内的其他显示技术。LCDTV采用液晶屏和大规模集成电路相配接

平板显示性车间具有以下的特点:

(1) 体积小、重里轻,因而可以做成便携式和壁挂式,甚至做到手表上
(2)功耗小:液晶屏的驱动电压低、耗电小。
(3)失真小:由于LCDTV采用行列电极加信号显示,故不存在因电子束偏转所产生的几何失真和三基色失聚问题。
(4)被动显示型。(5)无辐射、无污染。

平板显示性车间产品解决方案:

LED和薄膜晶体管彩色液晶显示器(TFT-LCD) 的生产工艺较复杂, 平板显示生产车间空气洁净工程解决方案技术难度和成本均较高,对生产环境要求也较高,其工艺过程薄膜晶体管有矩阵工艺与大规模集成电路生产工艺相似,生产工艺对环境的空气洁净度等级、温湿度、防微振和高纯物质的供应等均有较严格的要求:生产环境要有-万级到十万级的净化车间,并且对温度和湿度都有明确控制;各洁净室空气洁净度等级:控制粒子粒径为0.3 Hm。

污染物 来源 引发问题 解决方案

粉尘、微细盐粒子

空气

造成光学镜片雾

洁净室HVAC系统的新风机组加化学过滤功能段,在FFU

先进的生产方法通常要求非常洁净的空气环境,平板显示生产车间空气洁净工程解决方案很多情况下,空气要求还可能更加严格。近年来显示技术发展很快,平板显示器以其完全不同的显示和制造技术使之同传统的视频图像显示器有很大的差别。传统的视频图像显示器主要为阴极射线管CRT (Cathode ray tubes);而平板显示器与之的主要区别在于重里和体积(厚度)方面的变化,通常平板显示器的厚度不超过10cm (4in) , 当然还有其他的不同,如显示原理、制造材料、工艺以及视频图像显示驱动方面的各项技术等。


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