保障产品质量：单晶硅生产对环境洁净度要求极高。在制造 64k 单元的存贮器时，3 - 4 平方厘米面积的半导体材料上约有 15 万个元件，只要在相邻二条线之间落下 1 - 2 微米灰尘，就会造成短路而成为不合格产品。自洁式空气过滤器能去除粒径在 1μm 甚至更小的颗粒，过滤效率通常可达 99% 以上，可有效过滤空气中的尘埃、颗粒等杂质，为单晶硅生产提供洁净的空气环境，防止灰尘等污染物落在单晶硅产品上，避免产品出现缺陷，提高产品的良品率。
保护生产设备：单晶硅生产过程中使用的许多设备，如单晶炉、切片机等，对空气的洁净度和质量有较高要求。空气中的灰尘、杂质等会进入设备内部，导致设备磨损、堵塞管道、影响散热等问题，降低设备的性能和使用寿命，增加设备的维护成本和停机时间。自洁式空气过滤器可安装在这些设备的进气口处，对进入设备的空气进行过滤和净化，保护设备不受污染，确保设备的正常运行，延长设备的使用寿命。
维持生产环境稳定：单晶硅生产车间通常要求保持一定的温度、湿度和洁净度。自洁式空气过滤器可以与车间的空调系统、通风系统等配合使用，过滤进入车间的新鲜空气，去除其中的灰尘、杂质和有害气体，同时防止车间内的灰尘和污染物扩散，维持车间内的空气洁净度和环境稳定性，为工作人员提供良好的工作环境，保障生产过程的顺利进行。
过滤过程：含尘空气从过滤器的进风口进入，经过过滤元件。过滤元件通常采用多孔的滤料，如玻璃纤维、合成纤维等，这些滤料具有微小的孔隙。当空气通过滤料时，灰尘颗粒由于惯性、扩散、拦截等作用被截留在滤料表面和孔隙中，而干净的空气则穿过滤料，从出风口排出，从而实现对空气的过滤净化。
自洁过程：随着过滤过程的进行，滤料表面会逐渐积累灰尘，导致过滤阻力增加。当阻力达到一定设定值时，脉冲反吹系统开始工作。脉冲反吹系统通过压缩空气，在极短的时间内（通常为 0.1 - 0.2 秒）向过滤元件内部喷射高压空气。高压空气形成的脉冲气流使滤料瞬间膨胀和收缩，从而使附着在滤料表面的灰尘颗粒脱落。脱落的灰尘在重力作用下掉入集尘斗，然后被排出过滤器。通过这种定期的脉冲反吹自洁方式，过滤器能够保持稳定的过滤性能，持续有效地过滤空气。
控制过程：控制系统负责监测过滤器的工作状态，如进出口压差、过滤时间等参数。当进出口压差达到设定的上限值，或者过滤时间达到设定的周期时，控制系统会发出指令，启动脉冲反吹系统进行自洁操作。一些先进的自洁式空气过滤器还具备智能化的控制功能，可以根据实际的灰尘负载情况自动调整反吹的频率和强度，以达到最佳的自洁效果和节能目的。
