光伏产业
在光伏电池的生产过程中,单晶硅是重要的原材料。单晶硅切片环节会产生大量的硅粉等细微颗粒。单晶硅除尘器可以有效收集这些硅粉。例如,国内某大型光伏企业在其单晶硅切片车间安装了脉冲布袋式单晶硅除尘器。这种除尘器的过滤精度较高,能够捕捉粒径在微米级别的硅粉。通过除尘器的高效运行,车间内的空气质量得到明显改善,硅粉回收率达到了 90% 以上,不仅减少了对环境的污染,还能将回收的硅粉进行再利用,降低了生产成本。
半导体制造领域
半导体制造过程对环境洁净度要求极高。在单晶硅晶圆的研磨、蚀刻等工艺过程中会产生微小的硅屑和化学颗粒。单晶硅除尘器可以通过高效的过滤系统和特殊的气体处理单元,确保工作环境中的颗粒浓度符合半导体制造的高标准。以某知名半导体工厂为例,其采用了组合式的单晶硅除尘器,包括静电除尘和高效过滤器两个主要部分。在蚀刻车间,该除尘器能够去除 99% 以上的颗粒污染物,保证了晶圆生产过程中的良品率,同时也有助于延长生产设备的使用寿命,减少设备因颗粒污染而导致的故障维修次数。
单晶硅材料加工车间
在单晶硅材料的拉晶、切割等加工过程中,会产生粉尘和杂质。比如在单晶硅棒的切割工序中,切割液中会夹杂大量的硅粉。使用单晶硅除尘器可以有效地将这些硅粉从切割液和空气中分离出来。有企业采用了湿式单晶硅除尘器,将含有硅粉的切割液通过喷淋、过滤等方式进行处理。经过处理后,切割液可以循环使用,减少了切割液的消耗,同时硅粉的去除率达到了 95% 左右,改善了车间的工作环境,避免了工人长期暴露在高粉尘环境中可能导致的职业病危害。